통관사례
품 명 :
진공 압력 유지 장치
품 명 :
진공 압력 유지 장치
작성자
자유무역관세사무소
작성일
2024-09-11 16:29
조회
283
품목번호 :
8486.90-4000
물품설명
- (개요) 반도체 이송장비인 EFEM1)과 VTM2) 사이에 설치되는 LOAD LOCK3)에 조립되는 ATM Door로 SLOT VALVE(미제시)의 작동으로 도어가 개폐되어 LOAD LOCK 내부가 진공 및 대기 차단하여 진공압력이 유지 될 수 있게 막아주는 물품
1) EFEM(Equipment Front End Module) : Wafer가 최초, 마지막으로 움직이는 곳으로 자체 Filter를 통하여 Particle이 발생되지 않도록 머무를수 있는 장치 또한 FOUP의 Wafer를 원활하게 Load Lock Chamber로 이송하는 역할을 하는 Robot이 있는 장치
2) VTM(Vacuum Transfer module) : EFEM과 LOAD LOCK(본품)으로부터 이송된 웨이퍼를 PM(Process Module, 가공공정)으로 이송하기 위한 진공상태의 챔버로 내부 압력을 항상 진공으로 유지하고 있는 Robot이 부착되어 있음
3) LOAD LOCK : 대기상태인 EFEM과 진공상태의 VTM사이에 조립되어 EFEM에서 VTM 으로 웨이퍼가 이송되도록 웨이퍼를 일시적으로 보관하며 진공 또는 대기압을 형성
- (형상) 모서리가 둥근 알루미늄 판 형상에 체결할 수 있도록 하단에 특정형상으로 가공되어 있으며, 불소수지계 Sealing ring이 결합되어 있는 물품
- (작동원리(주변기기 포함)) * 본품은 ② ③에서 작동
① EFEM으로 FOUP에 담긴 웨이퍼 LOAD
② LOAD LOCK의 SLOT VALVE가 작동하여 LOAD LOCK의 도어가 열리고 EFEM의 ATM ROBOT이 LOAD LOCK으로 웨이퍼 이송
③ LOAD LOCK의 DOOR가 닫힌 후 진공형성
④ 진공상태가 되면 LOAD LOCK의 SLOT VALVE가 작동하여 TM 방향 도어가 열리고, 진공상태인 TM 내부의 ROBOT이 웨이퍼를 VTM으로 이송
⑤ VTM에서 해당 가공공정의 챔버(PM)로 웨이퍼 이송
결정사유
ㅇ 관세율표 제16부 제2호 나목에서 "그 밖의 부분품으로서 특정한 기계나 동일한 호로 분류되는 여러 종류의 기계(제8479호나 제8543호의 기계를 포함한다)에 전용되거나 주로 사용되는 부분품은 그 기계가 속하는 호로 분류한다."라고 규정하고 있음
ㅇ 관세율표 제8486호에는 "반도체 보울(boule)이나 웨이퍼(wafer)·반도체디바이스·전자집적회로.., 이 류의 주 제11호 다목에서 특정한 기계와 기기, 그 부분품과 부속품"을 규정하고, 제8486.40-30호에 이 류의 주 제11호 다목에서 특정한 기계와 기기 중"반도체 소자 제조용 웨이퍼, 웨이퍼카셋트, 상자나 그 밖의 물품을 이송, 핸들링 그리고 저장하기 위한 것"를 세분류하고, 제8486.90-4000호에는 이 류의 주 제11호 다목에서 특정한 기계와 기기의 것의 "부분품과 부속품"이 세분류됨
- 같은 호의 해설서 "(D) 이 류의 주 제11호 다목에서 특정한 기계와 기기" 그룹에서 '(3) 보울, 웨이퍼, 반도체 디바이스, 전자집적회로와 평판디스플레이의 권양, 취급, 양하와 적하용의 기기(예를 들면, 반도체 웨이퍼, 웨이퍼 카세트, 웨이퍼 박스와 그 밖의 반도체 디바이스용 원료를 운송, 취급하거나 저장하기 위한 자동 원료하역기 등)'를 이 호에 포함되는 물품으로 예시하여 설명하고 있으며,
- 같은 호 해설서에서 (E) 부분품과 부속품에서 "부분품의 분류에 관한 일반규정(제16부 총설 참조)에 의하여, 이 호에는 이 호에 분류하는 기계와 기기의 부분품과 부속품을 포함한다."라고 설명하고 있음
- 본 물품이 장착되는 "LOAD LOCK"은 웨이퍼 보관 및 오염을 방지하기 위하여 웨이퍼를 진공상태로 만들어 PM(Process Module, 가공공정)으로 이송하기 위한 반도체 디바이스 제조 공정 중 반도체 웨이퍼 보관용 FOUP을 핸들링 및 이송하기 위한 EFEM 장비와 진공상태인 VTM 장비와 함께 연결하여 사용하도록 특별히 설계 제작된 물품으로서,
· LOAD LOCK과 EFEM, VTM이 함께 연결된 경우 관세율표 제8486.40-30호에 분류되는"반도체 공정 중 웨이퍼의 권양, 취급, 적하나 양하용 기계와 기기"에 분류되는 장비임
- 따라서, 본 물품은 도어의 개폐로 LOAD LOCK의 진공 및 대기 차단 하여 진공압력이 유지 될 수 있게 막아주는 필수불가결한 물품으로 "부분품과 부속품"으로 보아 관세율표의 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 따라 제8486.90-4000호에 분류함
#ATMdoor #진공차단 #진공압력유지 #부속품
- (개요) 반도체 이송장비인 EFEM1)과 VTM2) 사이에 설치되는 LOAD LOCK3)에 조립되는 ATM Door로 SLOT VALVE(미제시)의 작동으로 도어가 개폐되어 LOAD LOCK 내부가 진공 및 대기 차단하여 진공압력이 유지 될 수 있게 막아주는 물품
1) EFEM(Equipment Front End Module) : Wafer가 최초, 마지막으로 움직이는 곳으로 자체 Filter를 통하여 Particle이 발생되지 않도록 머무를수 있는 장치 또한 FOUP의 Wafer를 원활하게 Load Lock Chamber로 이송하는 역할을 하는 Robot이 있는 장치
2) VTM(Vacuum Transfer module) : EFEM과 LOAD LOCK(본품)으로부터 이송된 웨이퍼를 PM(Process Module, 가공공정)으로 이송하기 위한 진공상태의 챔버로 내부 압력을 항상 진공으로 유지하고 있는 Robot이 부착되어 있음
3) LOAD LOCK : 대기상태인 EFEM과 진공상태의 VTM사이에 조립되어 EFEM에서 VTM 으로 웨이퍼가 이송되도록 웨이퍼를 일시적으로 보관하며 진공 또는 대기압을 형성
- (형상) 모서리가 둥근 알루미늄 판 형상에 체결할 수 있도록 하단에 특정형상으로 가공되어 있으며, 불소수지계 Sealing ring이 결합되어 있는 물품
- (작동원리(주변기기 포함)) * 본품은 ② ③에서 작동
① EFEM으로 FOUP에 담긴 웨이퍼 LOAD
② LOAD LOCK의 SLOT VALVE가 작동하여 LOAD LOCK의 도어가 열리고 EFEM의 ATM ROBOT이 LOAD LOCK으로 웨이퍼 이송
③ LOAD LOCK의 DOOR가 닫힌 후 진공형성
④ 진공상태가 되면 LOAD LOCK의 SLOT VALVE가 작동하여 TM 방향 도어가 열리고, 진공상태인 TM 내부의 ROBOT이 웨이퍼를 VTM으로 이송
⑤ VTM에서 해당 가공공정의 챔버(PM)로 웨이퍼 이송
결정사유
ㅇ 관세율표 제16부 제2호 나목에서 "그 밖의 부분품으로서 특정한 기계나 동일한 호로 분류되는 여러 종류의 기계(제8479호나 제8543호의 기계를 포함한다)에 전용되거나 주로 사용되는 부분품은 그 기계가 속하는 호로 분류한다."라고 규정하고 있음
ㅇ 관세율표 제8486호에는 "반도체 보울(boule)이나 웨이퍼(wafer)·반도체디바이스·전자집적회로.., 이 류의 주 제11호 다목에서 특정한 기계와 기기, 그 부분품과 부속품"을 규정하고, 제8486.40-30호에 이 류의 주 제11호 다목에서 특정한 기계와 기기 중"반도체 소자 제조용 웨이퍼, 웨이퍼카셋트, 상자나 그 밖의 물품을 이송, 핸들링 그리고 저장하기 위한 것"를 세분류하고, 제8486.90-4000호에는 이 류의 주 제11호 다목에서 특정한 기계와 기기의 것의 "부분품과 부속품"이 세분류됨
- 같은 호의 해설서 "(D) 이 류의 주 제11호 다목에서 특정한 기계와 기기" 그룹에서 '(3) 보울, 웨이퍼, 반도체 디바이스, 전자집적회로와 평판디스플레이의 권양, 취급, 양하와 적하용의 기기(예를 들면, 반도체 웨이퍼, 웨이퍼 카세트, 웨이퍼 박스와 그 밖의 반도체 디바이스용 원료를 운송, 취급하거나 저장하기 위한 자동 원료하역기 등)'를 이 호에 포함되는 물품으로 예시하여 설명하고 있으며,
- 같은 호 해설서에서 (E) 부분품과 부속품에서 "부분품의 분류에 관한 일반규정(제16부 총설 참조)에 의하여, 이 호에는 이 호에 분류하는 기계와 기기의 부분품과 부속품을 포함한다."라고 설명하고 있음
- 본 물품이 장착되는 "LOAD LOCK"은 웨이퍼 보관 및 오염을 방지하기 위하여 웨이퍼를 진공상태로 만들어 PM(Process Module, 가공공정)으로 이송하기 위한 반도체 디바이스 제조 공정 중 반도체 웨이퍼 보관용 FOUP을 핸들링 및 이송하기 위한 EFEM 장비와 진공상태인 VTM 장비와 함께 연결하여 사용하도록 특별히 설계 제작된 물품으로서,
· LOAD LOCK과 EFEM, VTM이 함께 연결된 경우 관세율표 제8486.40-30호에 분류되는"반도체 공정 중 웨이퍼의 권양, 취급, 적하나 양하용 기계와 기기"에 분류되는 장비임
- 따라서, 본 물품은 도어의 개폐로 LOAD LOCK의 진공 및 대기 차단 하여 진공압력이 유지 될 수 있게 막아주는 필수불가결한 물품으로 "부분품과 부속품"으로 보아 관세율표의 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 따라 제8486.90-4000호에 분류함
#ATMdoor #진공차단 #진공압력유지 #부속품
